三维磁场探针台

产品概述：

北京锦正茂科技有限公司提供的一维 、二维 、三维磁场探针台，采用无磁材料制成，一维 、二维 、三维三对亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间一维 、二维 、三维磁场。线圈可采用风冷（磁场较小）也可采用水冷结构（磁场较大），并且配备有线圈过热保护装置。和锦正茂生产的高精度双极性直流电源配合使用可以长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板上按键控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

应用范围：

广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台和锦正茂自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成。

三维磁场探针台：

三维磁场探针台技术指标：

三维磁场探针台选型注意事项：

※需要测几inch的晶圆或者器件！是否需要测试破片或者单颗芯片！最小的单颗芯片尺寸！

※探针台机械精度要求多高！

※点测样品的电极尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路！

※最多需要几个探针同时去点测！

※是否会用到探针卡测试！

※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少！

※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测！

※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下！低

电容要求是否要做到0.1pf！是否有射频需求！

※接驳的测试仪器接口有哪些！

※测试环境时是否会需要加热或者降温！ 是否需要密闭腔体！

※对chuck的漏电要求怎样！是否需要添加低阻抗chuck！

※是否需要防震桌！

※若添置防震桌，是否有压缩空气！